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直線(xiàn)位置測量系統確定機器中運動(dòng)部件的位置，將此信息提供給電機的控制單元，反饋回路實(shí)現電驅動(dòng)的位置控制。測量系統是一臺機器的核心部件，其性能對整臺機器的表現具有重大影響。博世力士樂(lè )開(kāi)發(fā)的IMS-A式集成測量系統，與導軌系統*集成（圖1）。系統得電后無(wú)需回零即可即時(shí)得到位置，同時(shí)該產(chǎn)品無(wú)需電池。編碼器系統為感應式原理，重復精度 ±0.25µm，刻尺精度3µm/m，測量精度可與光柵尺媲美。圖1(上) 為集成導軌的IMS-A測量系統。讀數頭牢固安裝于滑塊上并與之共同沿導軌運動(dòng)。圖1 (下) 的爆炸圖中可以看到在導軌上滾道之間的側面上集成有與增量刻尺，并且通過(guò)激光焊接金屬密封帶來(lái)防止污染和損壞。

圖2 顯示了增量感應傳感器的結構示意圖。類(lèi)似于變壓器非接觸工作原理，勵磁線(xiàn)圈由一臺發(fā)電機提供一個(gè)高頻交流電，解析電路來(lái)記錄接收線(xiàn)圈中產(chǎn)生的感應電壓。

對于測量系統中的感應傳感器，在接收線(xiàn)圈中的感應電壓值可通過(guò)刻尺上的刻度條獲得?？潭葪l在刻尺上以1000 µm間距均布（見(jiàn)圖2）。調制深度取決于以恒定速度相對運動(dòng)的刻度條在磁場(chǎng)回路中的位置，而后產(chǎn)生一個(gè)周期為1000 µm近似正弦的振幅曲線(xiàn)。通過(guò)兩組相互錯位1/4周期布置的接收線(xiàn)圈，傳感器相對于刻尺的位置和運動(dòng)方向都得以確定。如圖2所示，將帶有多個(gè)接收線(xiàn)圈的平面線(xiàn)圈傳感器沿運動(dòng)方向分布，可得到正弦和余弦信號。一方面，對線(xiàn)圈組中所有線(xiàn)圈的解析，提高了信號電平和信噪比。另一方面，傳感器在測量方向上的分布方式將單個(gè)信號平均處理，進(jìn)一步改善了信號的質(zhì)量，從而抑制并幾乎拉平了線(xiàn)圈范圍內的高精度刻度條的局部不規則性。

為了制造尺寸符合要求的傳感器，平面線(xiàn)圈的導體路徑使用特殊的制造工藝來(lái)生產(chǎn)，使導體路徑能夠通過(guò)結構化形成，并且允許多層組成結構。而為了確保勵磁線(xiàn)圈中具有相同的電流，保證線(xiàn)圈磁通密度的均勻和對稱(chēng)性，博世力士樂(lè )設計了曲折結構形式的電感式傳感器的勵磁繞組（如圖3所示）。在傳感器中的所有區域提供*相同的激勵電流，而不受線(xiàn)路電阻的波動(dòng)影響。這就保證了所有接收器線(xiàn)圈中有非常均勻的磁場(chǎng)激勵，意味著(zhù)在線(xiàn)圈組內不會(huì )出現不對稱(chēng)性。

當電感式傳感器以單位刻度的恒定速度移動(dòng)，則如上所述，感應信號的幅值將被調制為正弦曲線(xiàn)，周期為1000 µm。調制的質(zhì)量非常高，一部分歸功于前述傳感器的特殊設計。由博世力士樂(lè )開(kāi)發(fā)的自適應信號校正過(guò)程做支持，傳感器刻度的相對位置可以通過(guò)內插測量信號來(lái)確定，偏差小于±0.75 µm。該量度被稱(chēng)為插值精度。  
由于電感式傳感器采用高頻交變磁場(chǎng)，所以位置確定能抵抗來(lái)自靜態(tài)磁場(chǎng)和電磁干擾的影響，例如直線(xiàn)電機可能造成的干擾。同時(shí)，材料的剩磁對電感測量原理沒(méi)有影響，這就是為什么它不像傳統的磁測量原理一樣，位置信號的的測量*沒(méi)有滯后。

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